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磁控溅射膜常见故障的排除

2008-04-30 11:33

膜层灰暗及发黑

(1)真空度低于0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。 (2)氩气纯度低于99．9％。应换用纯度为99．99％的氩气。 (3)充气系统漏气。应检查充气系统，排除漏气现象。 (4)底漆未充分固化。应适当延长底漆的固化时间。 (5)镀件放气量太大。应进行干燥和封孔处理 膜层表面光泽暗淡

(1)底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。 (2)溅射时间太长。应适当缩短。

(3)溅射成膜速度太快。应适当降低溅射电流或电压 膜层色泽不均

(1)底漆喷涂得不均匀。应改进底漆的施涂方法。 (2)膜层太薄。应适当提高溅射速度或延长溅射时间。 (3)夹具设计不合理。应改进夹具设计。

(4)镀件的几何形状太复杂。应适当提高镀件的旋转速度 膜层发皱、龟裂

(1)底漆喷涂得太厚。应控制在7—lOtan厚度范围内。 (2)涂料的粘度太高。应适当降低。 (3)蒸发速度太快。应适当减慢。 (4)膜层太厚。应适当缩短溅射时间。

(5)镀件温度太高。应适当缩短对镀件的加温时间 膜层表面有水迹、指纹及灰粒

(1)镀件清洗后未充分干燥。应加强镀前处理。

(2)镀件表面溅上水珠或唾液。应加强文明生产，操作者应带口罩。 (3)涂底漆后手接触过镀件，表面留下指纹。应严禁用手接触镀件表面。 (4)涂料中有颗粒物。应过滤涂料或更换涂料。

(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器并保持工作环境的清洁

膜层附着力不良

(1)镀件除油脱脂不彻底。应加强镀前处理。

(2)真空室内不清洁。应清洗真空室。值得注意的是，在装靶和拆靶的过程中，严禁用手 或不干净的物体与磁控源接触，以保证磁控源具有较高的清洁度，这是提高膜层结合力的重 要措施之一。

(3)夹具不清洁。应清洗夹具。 (4)底涂料选用不当。应更换涂料。

(5)溅射工艺条件控制不当。应改进溅射工艺条件