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新化学沉镍金线作业指引 编号：C-EG-080 版本：1.2 第6页，共11页 4.4.1.2 共有4种程序可以选择，1号程序为镍厚2-5um金厚为0.075-0.1um之间；2号程序为镍厚2-5um

金厚为0.05-0.075um之间；3号程序为镍厚5-9um金厚为0.075-0.1um之间；6号为开放式程序，根据板子不同要求设定参数，需要工艺跟进；4及5为备用程序号。

4.4.1.3 生产前选择程序后还要选择镍缸（飞巴）号，使用1号镍缸选择1、2号飞巴，2号镍缸使用3、

4号飞巴。

4.4.2 工艺参数 2控制 药水1000FT温控范调控方法及 缸名 控制范围 控制点 分析频率 项目 消耗添加量 围 换槽频率 除油 除油剂EXLAC-702 8-12% 80-120g/l 2-3% 2-15g/l 0.5-1.0μm 4-6% 1-2% 8-12ppm ＜100PPM 2-4% 4.3-5.2g/l 22-32g/l 4.5-4.9 ＜1PPM ≤2.0A ≤4MTO 0.8-1.5g/l 4.8-6.0 ≤1000ppm ≤5ppm 8-12% ＜0.5PPM 10% 100g/l 2.5% / / 5% 1.5% 10ppm / 3% / / / / / / 1.0g/l 5.3 / / 10% / 1次/班 1次/班 1次/班 1次/班 2次/周 1次/班 1次/班 1次/班 1次/班 1次/班 1次/4H 1次/班 1次/4H 1次/月 / / 1次/班 分析补加 3KG 0.4L / / / / 1.5L / / 自动补加及分析补加 / / / 38-45℃ 2MTO或Cu≥250PPM 2+Na2S2O8 H2SO4 微蚀 Cu 微蚀量 酸洗 预浸 活化 后浸酸 H2SO4 H2SO4 QPA-100 Cu H2SO4 Ni NaH2PO2 化学沉镍 PH 2+Pb 镍缸保护电流 镍缸寿命 Au PH 化学沉金 Ni Cu AU-512 Pb 2+2+2+2+2+2+26-30℃ Cu＞15g/L 2+RT RT 22-26℃ RT 82-86℃ / / 更换微蚀时更换 更换活化时更换 Cu＞100PPM 更换活化时更换 2+添加(化镍)补充剂SX-A超过144L(4mto)后更换 AA机分析补1次/班 加及每补加1次/天 50g金盐需补1次/天 加0.8L补充剂AU-512 1次/天 1次/月 / 80-90℃ Cu>5ppm、2+Ni>1000ppm 2+ 4.4.3 工艺操作 4.4.3.1 生产前处理

4.4.3.1.1 化学沉镍金板在生产前,必须在沉金前处理机上进行微蚀磨板处理（其微蚀磨板速度控制见

《沉金前处理作业指导书》）；处理完后的板必须在4个小时之内进拉生产, 同时将前处理后最多停放时间（4个小时）的截止时间填写在《沉镍金前处理后停放时间跟踪牌》上，防止铜面再次氧化,同时在上板过程中如发现铜面有氧化及污染的板,须重新返处理后方可生产(返处理板速度控制在2.5m/min,其它参数不变,返处理的板不得超过三次)，其主要作用是清此文件属深圳崇达多层线路板有限公司受控文件，未经许可，严禁复印!

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新化学沉镍金线作业指引 编号：C-EG-080 版本：1.2 第7页，共11页 除板铜面的氧化物及脏物,保证化学沉镍金生产品质.

4.4.3.2 装板

4.4.3.2.1 拧松挂蓝护板架杆上的螺丝，松开挂蓝护板架杆；

4.4.3.2.2 按沉镍金板的尺寸大小(最大尺寸为:640mm*580mm;工程已做好拼板设计)调整好护板架杆（上

护板架杆及侧护板架杆）的高度及宽度,然后小心取板放入挂蓝卡槽, 上紧板边对应的护板架杆,直到上满25PNL(每挂蓝仅挂25PNL，不同尺寸板子需要同时放入同一挂蓝时必须用铁氟龙线或铜线固定四角，注意固定丝线不可过长，以刚好固定板子为宜，防止撞缸壁), 拧紧护板架杆的螺丝，挂在飞巴上（注意上在飞巴中间）,同时拧紧挂钩上的螺丝,防止掉架；

4.4.3.2.3 当尾数板不足一架时，应均匀排列挂板，防止挂架重心倾向而掉架擦花报废板； 4.4.3.2.4 上板时要戴干净白布手套，并注意操作手势,避免擦花板.不允许裸手拿板. 4.4.3.3 卸板

4.4.3.3.1 待行车将已化学沉镍金好的板从水洗缸中吊至上/下位停稳时，拧松挂蓝上的螺丝把整个挂蓝

从飞巴取下来进行拆板；

4.4.3.3.2 首先拧松护板架杆的螺丝，慢慢的取出板放入装有DI水的水车里面；

4.4.3.3.3 拆板时要戴黄色的胶手套，并注意操作手势,避免擦花板.不允许裸手拿板. 4.4.3.4 后处理

4.4.3.4.1 化学沉镍金板需用专用的水车装板、运板,并不作其它用;每六小时清洗更换一次水车里面的

DI水；

4.4.3.4.2 将水车里已化学沉镍金好的板进行酸洗、烘板,烘好的板需进行插架，当插完一架后将板运至

检板处由PQC检查其品质状况。

4.5 工艺维护

4.5.1 各药水缸开缸步骤 4.5.1.1 除油缸

4.5.1.1.1 加2/3缸体积DI水；

4.5.1.1.2 再加入40L 酸性除油剂EXLAC-702,补充DI水至正确位置；

4.5.1.1.3 开启循环过滤泵30min(生产时间隔1小时开启30min)，使药液混合均匀； 4.5.1.2 微蚀缸

4.5.1.2.1 加入2/3缸体积之DI水,并开启空气搅拌； 4.5.1.2.2 缓慢加入10L AR级浓硫酸,搅拌均匀； 4.5.1.2.3 加入40kg Na2S2O8搅拌至全部溶解；

4.5.1.2.4 补加DI水至标准液位后,开启循环过滤泵，使药液混合均匀；

4.5.1.2.5 配新微蚀液时注意保留40L母液提供铜离子，如果需要排空洗缸则开缸后补加1KG硫酸铜。 4.5.1.3 酸洗缸

4.5.1.3.1 加入2/3缸体积之DI水；

4.5.1.3.2 缓缓加入20L AR级浓硫酸，搅拌均匀； 4.5.1.3.3 补加DI水至标准液位. 4.5.1.4 预浸缸

4.5.1.4.1 加入2/3缸体积之DI水，并开启空气搅拌； 4.5.1.4.2 缓缓加入6L AR级浓硫酸,搅拌均匀； 4.5.1.4.3 补加DI水至标准液位. 4.5.1.5 活化缸

4.5.1.5.1 加入2/3缸体积的DI水；

4.5.1.5.2 再加入23.5L 活化剂KAT-450,搅拌均匀. 4.5.1.6 后浸酸缸

4.5.1.6.1 加入2/3缸体积之DI水，并开启空气搅拌； 4.5.1.6.2 缓缓加入20L AR级浓硫酸,搅拌均匀； 4.5.1.6.3 补加DI水至标准液位.

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新化学沉镍金线作业指引 编号：C-EG-080 版本：1.2 第8页，共11页 4.5.1.7 化学沉镍

4.5.1.7.1 加入2/3缸体积的DI水； 4.5.1.7.2 加入SX-M 74L,搅拌均匀；

4.5.1.7.3 加入SX-A 36L ,并补充液位至正常，开启循环搅拌均匀； 4.5.1.7.4 拖缸前加入NPR-4-D 2L. 4.5.1.8 化学沉金

4.5.1.8.1 加入2/3缸体积的DI水；

4.5.1.8.2 加入(浸金)建浴剂AU-512 42L,搅拌均匀；

4.5.1.8.3 加入溶解于热水中的金盐(68.3%)600g,搅拌均匀； 4.5.1.8.4 加入DI水至正确水位(420L)。 4.5.2 工艺控制

4.5.2.1 化学沉镍缸的拖缸程式

4.5.2.1.1 镍缸负载量一般控制在0.3-0.8平方分米/升；

4.5.2.1.2 当负载量小于0.3平方分米/ 升时,沉积速度减慢,磷含量分布不均匀； 4.5.2.1.3 当负载量大于0.8平方分米/升时,须要额外添加稳定剂； 4.5.2.1.4 拖缸动作须待化镍缸温度达到80℃后才可以开始； 4.5.2.1.5 负载量之计算:

? 对化学沉镍缸体积700L(有效体积),计算为:

? 0.4平方分米/升×700L有效缸体积=280平方分米有效铜面积即140平方分米切板面

积,就相当于5块14” ×18”经过磨板机处理的光铜板.

? 0.2平方分米/升×700L有效缸体积=140平方分米有效铜面积即70平方分米切板面

积,就相当于1.6块14” ×18”经过磨板机处理的光铜板；

4.5.2.1.6 当负载量小于0.3平方分米/升时，需要增加拖缸板陪镀，防止漏镀；

4.5.2.1.7 当新配的镍缸或是停产时间多于12小时,对双飞巴的镍缸,则按以下顺序拖缸:

? 第一支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L ? 第二支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L；

4.5.2.1.8 当停产时间小于12小时,对双飞巴的镍缸,则按以下拖缸:

? 第一支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L。

4.5.2.2 化学沉金缸拖缸程式

勿须拖缸（生产过程中镍缸每次拖缸时,板在出镍缸到水洗后手动取出拖缸板!）。

4.5.2.3 沉镍缸炸缸保养程式：

当沉镍缸之整流器电流到达2.0A,或镍缸补加(化镍)补充剂SX-A超过144L后,须按以下程式来钝化镍缸:

? 待镍缸药水温度降至50℃以下,将镍缸药水泵至桶存放(排放). ? 从过滤筒中取走棉蕊,开启阀门让里面的镍药水排走.

? 将镍缸整流器电源关闭.(紧记:若在整流器开启进加入硝酸炸缸,会对缸体面有很大的

损害)

? 将已沉上镍的电极棒留在镍缸内与整个镍缸体进行硝酸炸缸处理. ? 开启排水管阀,用水清洗镍缸,关闭排水阀.

? 加水至缸体积的1/2,再加入硝酸至最高水位刻度(23桶20kg含量68%的工业硝酸). ? 升温至50-55℃,开启过滤泵(此时不须装棉蕊)保温循环12小时. ? 排走或泵走缸内硝酸并打开阀门排走过滤泵中的硝酸.

? 用自来水把镍缸及过滤筒冲洗干净,然后放满水,循环1小时后排掉;再放满DI水重复

清洗两次后排掉.

? 根据新药水开缸步骤开新药水或将旧的镍药水泵回炸好的镍缸内. ? 换上新的过滤棉蕊.

4.5.2.4 活化缸硝缸保养程式：

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新化学沉镍金线作业指引 编号：C-EG-080 版本：1.2 第9页，共11页 活化缸使用1-2个缸后，如果缸壁有严重黑色沉淀物（钯析出），需要进行硝缸. 加入缸体2/3的清水后加入SPS 32kg及盐酸12L；

启动PUMP循环4小时或直到活化缸壁灰黑色沉淀物完全去除后，排掉废液； 加水循环冲洗3-5次，每次10-20min，直到电导率≤10us/cm，PH=5.0-8.0，水质OK后备用。

4.5.2.5 每两小时水银温度计测量各药水缸及热水洗缸（控制范围：40—50℃）温度一次并记录，当实

测温度与显示温度有差异时，通知维护部以实测温度调校温控器（包括对探测器的维护）。

4.5.2.6 在生产每种不同型号或不同工艺要求(镍、金厚度)的板时,须先生产首板,待首板测量镍、金厚

度及检查其它品质(外观)要求都符合MI要求后方可批量生产，否则须通知工序工艺工程师调整工艺参数并跟进处理,待调整OK后方可批量生产；在批量生产的过程中必须每1小时取板到测量室测量镍、金厚度，并如实记录数据；在测量的过程中如发现测量的数据偏差较大时,应及时知会物理实验室负责人员对仪器进行调校；在仪器测量无异常时,如数据测量与MI要求相差较大,应及时通知流程工程师调校生产参数及处理.

4.5.2.7 为防止黑镍，化验室应严格管控镍槽次磷酸钠含量(P含量要求：8-11%)，以及金厚控制不能大

于0.15um，同时，工艺工程师每周寄一次沉镍金样板外发做SEM及EDS测试，分析结果打印存档.

4.6 设备维护

4.6.1 镍缸阳极保护系统调整事项

将整流器电压输出设定为1.0V,再用万用表测量镍缸壁同阴极棒之间的电压，观察其是否与整流器电压输出吻合，如果不吻合，应调整整流器输出，使缸壁同阴极棒之间的实测电压为1.0V左右。（注意：镍缸整流器仅在炸缸时关闭其电源，其它时间必须开启电源）。

4.6.2 各药水缸过滤蕊更换保养事项

镍缸过滤棉蕊每班更换一次，更换前使用5%的硫酸浸泡1-2小时后再用清水浸泡1-2小时；

微蚀缸棉蕊随换药水时更换;金缸过滤棉蕊每月更换一次；金缸自动添加装置每月保养1次，保养时用干净桶装出余下金水，用抹布抹干净添加桶壁，再用DI水清洗2边，加入金水待用；其它药水缸棉蕊每周更换一次；抽风口每周清洁一次(防止结晶物掉入药水缸中,污染药水)。

4.6.3 各水洗缸保养事项

活化后水洗、镍、金缸前后的水洗槽必须每周进行保养一次；具体保养方法：用3%-5%的硫酸和2%-3%双氧水浸泡1-2小时并伴随打气（关闭逆流水开关），进行消毒杀菌，以防止生成絮状物污染板面;清洗完排掉后，再边放DI水边用毛刷刷洗缸壁、缸角和逆流口内的内壁;另所有水洗缸每班清洗更换一次,保证缸壁、缸底清洁无杂物。

4.6.4 挂篮或夹头维护保养事项

不定期对挂篮或护板架杆进行检查包胶是否破损，如果破损则应作包胶处理；不定期检查护板架杆/挂篮/螺丝是否有明显的上镍上金现象，如有须用硝酸溶液炸掉。

4.7 生产操作 4.7.1 开机前

4.7.1.1 检查各个水阀及气阀之开关情况,并作出适当的调整. 4.7.1.2 检查各药水缸水位,并补充至标准工作液位.

4.7.1.3 开启总电源开关,检查生产线手动控制板上的急停、前进、后退、上升、下降、气动、震动等

按钮运行是否正常

4.7.1.4 开启各药水缸之循环泵,约循环半小时后取样至化验室分析.

4.7.1.5 检查镍缸整流器,并确保是在稳定电压状态下,而输出电压为0.8-1.0V. 4.7.1.6 开启各药水缸的加热器或冷却开关,使温度自动调整至工艺控制温度.

4.7.1.7 开启镍缸控制器电源(确保循环泵的开关并未接上),等候30分钟,校正镍缸控制器之PH电极,

详细步骤参考4.6.1；开启取样泵,确保冷却管的冷却水阀是长开的.

4.7.1.8 开启其它水洗缸之阀门级打气.

4.7.1.9 根据化验室分析结果添加各缸所需药水至缸中,并加满自动添加桶所需的药水.

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新化学沉镍金线作业指引 编号：C-EG-080 版本：1.2 第10页，共11页 4.7.1.10 当各药水缸的温度升至工艺控制的温度后,则可开始拖缸及生产，正常生产后开启金缸自动添

加装置（金缸自动添加装置由工艺根据化验分析设定），停拉或试首件时金缸自动添加装置关闭.

4.7.2 开机

4.7.2.1 打开主控制电源开关,接着按工艺要求值设定各缸温度，开启加热、过滤、冷却、打气（鼓风

机）开关，开启有溢流水洗缸溢流水洗，调整至工艺要求范围；

4.7.2.2 温度到设定要求后，开启震动、气动（上、下）、摇摆，接着根据板子要求选择适合程序，并

选择自动及按程序启动；

4.7.2.3 “自动”与“手动”状态切换：自动状态下，点击“手动”按钮，行车进入手动状态,即可手

动操作。

4.7.2.4 “手动”与“自动”状态切换：手动状态下，点击“自动”按钮，行车进入自动运行状态，便

可正常生产。

4.7.2.5 如果重新开始，则把飞巴放入程序起始位置，按4.7.2.1的步骤操作，开始自动即可. 4.7.3 停机

4.7.3.1 待最后一缸板时，按程序停止；

4.7.3.2 关闭加热、过滤、冷却、打气（鼓风机）、震动、气动（上、下）、摇摆及各溢流水洗开关； 4.7.2.2 关闭主控制电源开关；

4.7.3.4 关闭行车运行系统的电源开关、及自来水、DI水的总阀开关。

4.7.3.5 将沉金缸、沉镍缸温度设定至30℃，待药水温度冷却到设定值后，关闭加热冷却系统开关;若

24小之内还需开线生产,其它缸温控系统则不需关闭,否则可以关闭;并用PP罩盖住沉金、沉镍、活化缸，以免灰尘及其它物掉落药水中产生污染。

4.8 返工板的处理程序

化学沉镍、金是一种多层金属表面处理工艺,为了保证严格品质要求,问题板除工艺特别跟进试

板合格外，其它一般情况下不返工 (影响现场环境及品质要求得不到保证),直接作报废处理；在生产过程中必须严格对生产首板进行测量及检查，避免须返工造成的报废机率。

4.9 注意事项

4.9.1 添加药水时,必须穿戴好特殊防护用具.如防护眼镜.耐酸碱手套,防毒面具,口罩等；若药水溅

到皮肤或眼睛上时，应立即用大量清水清洗,严重者及时送医院.

4.9.2 行车运行时严禁将手放在导轨上以防压伤.

4.9.3 如需到缸槽上部处理异常情况时, 须将程序暂停或手动配合操作. 4.9.4 谨防加热器漏电现象发生, 如有此现象及时通知维护部.

4.9.5 当飞巴在上下板区升降时(上/下板时),操作员工须间隔一段距离,以免飞巴落空打伤人。 4.9.6 添加药水须按化验室的加药通知单及时,如实补加，并如实作好记录 5.0 相关文件、记录

《化学沉镍、金分析报告单》

《化学沉镍、金生产记录表》 D-C-EG-113-01

《化学沉镍、金药品添加记录表》 D-C-EG-113-02 《化学沉镍、金首板检查记录表》 D-C-EG-113-03 《化学沉镍、金流程参数记录表》 D-C-EG-113-04 《化学沉镍、金保养记录表》 D-C-EG-113-05 《化学沉镍、金点检记录表》 D-C-EG-113-06 《沉镍金前处理后停放时间跟踪牌》 D-C-EG-113-07 《表面金属厚度测量记录表》

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