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氦检漏作业指导书

篇一：氦气检漏作业指导书B版本 篇二：氦检漏步骤 氦检漏步骤

1、 抽真空至5Pa以下就可以开始检测。

2、 插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”

灯亮起，等待系统运行

3、 当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，

一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待 几分钟）

4、 按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过 10MPa,否则机器易损坏，

5、 数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”

6、 逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦

后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、 关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。 篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1) 氦质谱检漏仪使用说明

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一、 检漏仪及其真空系统的组成

VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1： 图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）

检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空

连接。如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。 二、 检漏仪工作原理 图2 检漏仪工作原理图

如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。 三、控制和指示器功能说明： 序号 1 控制、指示器 功能

Vent Start Hold 和Test检漏仪开关时，控制各个阀的 按钮 动作顺序 Pressure(压力指示) Leak rate(漏率指示)

显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec(标准 立方厘米每秒)，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光二极管（LED）“over”和“under”显示。随“range”和“Hi-Lo Sensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示4、5、6、7、8或9作指数 2 3

4 Range（量程选择）

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量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度） 电位器调节零点

质谱管灯丝发射后绿色LED显示灯亮，表示检漏仪处于测试状态 5 6

Zero（调零） FIL(灯丝指示) 7

Hivac ok （真空度ok） 系统真空度达到要求后，绿色

LED指示灯亮 Main power(主电源) Focus(聚焦) ION（离子源控制） 检漏仪总电源控制 调节聚焦电位 调节离子腔室电压，电位器可转10圈 8 9 10 11

Residual background(残二位选择开关，检测真空系统余本底) 残余本底，通常打在Run（运

行）位臵，如果要测氦本底，则打至check(检测)位臵。 Coarse zero (粗调) Fil. Selector(灯丝选择) 漏率显示粗调

二位开关选择灯丝1或灯丝2 12 13 14 15

Fil. On–Off （灯丝开关） 开关离子源灯丝 EMIS （发射控制） 通过改变灯丝电流来调节离子

源电子发射 调节检漏仪板警声音 校准电位器，使漏率读数和标 16 17

AUDIO（声音调节） CAL.（校准控制） 准漏孔一致