内容发布更新时间 : 2024/5/12 3:38:39星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

半导体功率器件与智能功率IC实验

学生姓名：田瑞

学 号：201422030143 指导教师：乔明

一、实验室名称： 211楼803 工作站 二、实验项目名称：半导体功率器件与智能功率IC实验——LDMOS器件版图设计实验

三、实验原理：

首先，设计版图的基础便是电路的基本原理，以及电路的工作特性，硅加工工艺的基础、以及通用版图的设计流程，之后要根据不同的工艺对应不同的设计规则，一般来说通用的版图设计流程为：

1．制定版图规划记住要制定可能会被遗忘的特殊要求清单 2．设计实现考虑特殊要求及如何布线创建组元并对其进行布 3．版图验证执行基于计算机的检查和目视检查，进行校正工作

最终步骤工程核查以及版图核查版图参数提取与后仿真完成这些之后需要特别注意的是寄生参数噪声以及布局等的影响，具体是电路而定，在下面的实验步骤中会体现到这一点。 IC设计与制造的主要流程 电路设计与仿真 根据电路的指标和工作条件，确定电路结构与类型，然后通过模拟计算，决定电路中各器 件的参数（包括电参数、几何参数等），EDA软件进行模拟仿真。 工艺设计 根据电路特点选择适当的工艺，再按电路中各器件的参数要求，确定满足这些参数的工艺参 数、工艺流程和工艺条件。 版图设计 按电路设计和确定的工艺流程，把电路中有源器件、阻容元件及互连以一定的规则布置在 硅片上，绘制出相互套合的版图，以供制作各次光刻掩模版用。 生成PG带制作掩模版 根据用途要求，确定系统总体方案 工艺流片 测试，划片封装 四、实验目的：

掌握版图设计的基本理论。 掌握版图设计的常用技巧。

掌握定制集成电路的设计方法和流程。

熟悉Cadence Virtuoso Layout Edit软件的应用 学会用Cadence软件设计版图、版图的验证以及后仿真

熟悉Cadence软件和版图设计流程，减少版图设计过程中出现的错误。

五、实验内容：

结合LDMOS的版图文件，完成LDMOS器件的版图绘制。 六、实验器材（设备、元器件）：

CADENCE软件 七、实验步骤： LDMOS的版图文件

nwell 1 6400 8000 pwell1 1 0 7000 pwell2 7 0 3400 3550 4050 4220 4520 4740 4990 5250 5470 5770 5920 6350 8000 poly 2 0400 1800 5000 7400 nimplant 2 0400 7400 7700 8000 pimplant 1 0 7700 omicont 2 0300 0700 0900 7600