内容发布更新时间 : 2024/7/5 1:33:54星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。
苏州正信电子科技有限公司
工结项 目 名 项 目 编 项 目 类 填 表
艺 试 验 论 报 告
称 (长春、日立、旭化成)干膜测试 号 EN001 别 材料测试 人
干膜测试报告
一、 目的 ：以公司现有之设备，测试长春、旭化成、日立三种供应商不同型号厚度干膜是否适合我
公司生产品质需求。 二、 测试时间 ：2010年01月19～2月27日。 三、测试人员 ：吴利峰 四、测试干膜 ：
长春FF-9030（30um）、长春FF-9020（20um）两种干膜各两卷，
日立H-9030（30um）、日立H-9020（20um）、日立H-9025（25um）三种干膜各两卷 旭化成AQ-3088 （30um） 旭化成AQ-209A（20um）两种干膜各两卷， 五、测试工作底片 ：15um-50um不同大小线宽线距解像测试底片1张、 2/2线路菲林测试底片1张 六、测试操作条件 ：
1．贴膜前处理化学洗板操作条件:
化学洗板速度1m/min, 除油浓度4％,酸洗浓度5％烘干温度85 ℃,微蚀速率0.4um/次。 2．30um厚度不同供应商测试操作条件:
测试相关参数 工序 项目 测试相关参数 测试相关参数 日立H-9030（30um) 上温105℃ 下温105℃ 长春FF-9030（30um) 旭化成AQ-3088（30um) 上温105℃ 下温105℃ 1 5 6格/7格/8格 34/54/75 86.5 5 1.6 50~55 上/下：1.3/1.3 30.1 1.02 2.8（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.272 上温105℃ 下温105℃ 温度设定（℃） 压膜 速度（m/min） 压力（kgf/cm2） 能量格（X/21st） 曝光 能量设定(mJ/cm2) 真空度(KPa) 真空时间(sec) 显影速度（m/min） 显影点（%） 显影 显影喷压（kgf/cm2） 显影温度（℃） Na2CO3浓度（wt%） 速度（m/min） 蚀刻 喷压（kgf/cm2） 温度（℃） 比重
1 5 6格/7格/8格 34/54/75 86.5 1 5 6格/7格/8格 34/54/75 86.5 5 2.0 50~55 上/下：1.3/1.3 30.1 1.02 2.8（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.273 10 2.0 50~55 上/下：1.3/1.0 30 1.01 2.8（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.272 氧化剂 盐酸浓度（ml/l） 速度（m/min） 去膜点（%） 去膜 喷压（kgf/cm2） 温度（℃） NaOH(wt%) 35.2 24.9 2 40 上/下：1.5/1.5 48 3 35.2 24.9 2 40 上/下：1.5/1.5 48 3 35.2 24.9 2 40 上/下：1.5/1.5 48 3 2．20um厚度不同供应商测试操作条件: 测试相关参数 工序 项目 测试相关参数 测试相关参数 日立H-9020（20um) 105 1 5 6格7/格8格 13/22/35 86.5 10 3.5 50~55 上/下：1.3/1.0 30.1 1.02 2.795（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.272 35.2 24.9 3.6 50~55 上/下：1.5/1.5 48 3 长春FF-9020（20um) 旭化成AQ-209A（20um) 105 1 5.5 6格7/格8格 45/65/85 86.5 10 1.5 50~55 上/下：1.8/1.8 30.1 1.02 2.2（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.272 35.2 24.9 3.6 50~55 上/下：1.5/1.5 46.8 3 105 1 4.5 6格7/格8格 45/65/80 86.5 10 2.5 48~54 上/下：1.5/1.2 30 1.02 2.8（1/3oz铜） 上/下：1.6/1.3 48 1.272 35.1 24.9 2 50~55 上/下：1.5/1.5 48 3 温度设定（℃） 压膜 速度（m/min） 压力（kgf/cm2） 能量格（X/21st） 曝光 能量设定(mJ/cm2) 真空度(KPa) 真空时间(sec) 显影速度（m/min） 显影点（%） 显影 显影喷压（kgf/cm2） 显影温度（℃） Na2CO3浓度（wt%） 速度（m/min） 喷压（kgf/cm2） 蚀刻 温度（℃） 比重 氧化剂 盐酸浓度（ml/l） 速度（m/min） 去膜点（%） 去膜 喷压（kgf/cm2） 温度（℃） NaOH(wt%) 七、测试干膜结果：
1.30um不同厚度干膜供应商解像能力测试结果如下：
解像性（最小线宽） 解像性（最小线距) 长春FF-9030 旭化成日立长春旭化成日立曝光量 AQ-3088H-9030（单FF-9030 AQ-3088H-9030（单(mJ/cm2) （单位um） （单位um） 位um） （单位（单位位um） um） um）