内容发布更新时间 : 2024/9/29 11:29:46星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。
温州索乐新能源科技有限公司 PECVD作业指导书
一、 目的
规范设备操作保证产品质量，防止错误操作造成人身安全、产品质量和设备安全等不良后果特制定此规程。 二、 范围
本规程规定了M8Z200-3UM卧式等离子增强化学气相淀积设备。ADS602H真空泵及高频仪的操作方法、工艺要求及注意事项。
本规程适用于M8Z200-3UM卧式等离子增强化学气相淀积设备。ADS602H真空泵及高频仪设备的运行和产品判定。 三、 工具
石墨舟，石英吸笔，石墨舟钩子，万用表，承载盒，海绵垫，硅片托垫，手电筒，石英吸笔吸盘垫片。 四、 设备
M8Z200-3UM卧式等离子增强化学气相淀积设备
五、 原辅材料
硅片，硅烷、氨气，氮气，酒精，棉布手套，乳胶手套 六、 操作要求 准备工作
1、 上班时穿好防静电净化服，工作鞋，按要求戴好口罩，棉布手套和乳胶手套。
2、 接班时要确认上个班及当前运行工艺、设备状况、片源等有利于当班正常生产的各种信息。 3、 准备
A. 准备拿片（拿放石墨舟和硅片应轻拿轻放，防止碰撞，不能裸手操作以防污染）。
B. 将石墨舟工作台将装片工作台拉至平面并用专用钩子提到工作台上，石墨舟脚必须卡到两侧
定位硅胶棒外。
C. 打开石英吸管所用压缩空气,调至适用压力。 D. 检查石英吸管吸盘垫片是否污染,如污染应更换。
E. 从传递窗中拿出工艺流程卡核对数目是否相符, 若不相符应与上一道工序协调。
F. 边缘一排轻轻往内推一点，拿住装片花蓝边缘，慢慢取出放到手推车上，拿完一批后将空花
蓝整齐放入传递窗中关掉传递窗。取片时应注意防止与相邻花蓝擦刮造成跌落。 G. 双手将手推车轻推至装片工作台旁，将装有硅片的花蓝放到准备插片的石墨舟旁。 4、 装片
A. 装片前用手扶住石墨舟上将装片工作台倾斜至自身装片方向。
B. 插片时注意花蓝开口方向为扩散面，片掉落不清楚时可用万用表欧姆档测试两面电阻，电阻
值小的一面为扩散面。
C. 左手轻轻托起花蓝底部，右手拿住石英吸笔用食指或拇指压住吸笔控制孔，吸盘靠住硅片扩散面，将硅片从花蓝中取出，检查表面，有绒面不良的应返工。
D. 从左到右从上到下对准石墨舟放片槽位，贴住石墨舟将硅片放到卡片螺母内，插完一面后仔细检查硅片是否放到位，有无空缺，有空缺一定要补上。
E. 用手扶住石墨舟上将装片工作台拉至平面，用手扶住石墨舟将石墨舟旋转180度并倾斜至自
身装片方向。同样方法完成“D”步，装完后用手扶住石墨舟上将装片工作台拉至平面。
F. 插完一批片后应准确完整的在PECVD装卸片原始记录上记录好各种信息，作为取片的第一手资料。
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G. 插片过程中一定要控制好吸笔，防止硅片跌落或碰撞瓷杆造成的人为残破片。同时插片过程
应顺其自然，不能野蛮操作。
5、 提舟
A. 用石墨舟专用钩子钩住石墨舟两端第二根瓷杆的中间位置缓慢提起，注意观察有无掉片，如有掉片应重新装好才能提走。
B. 提舟时两手齐胸，防止石墨舟两端碰到任何物体造成损坏。
C. 将石墨舟轻轻放到取送舟的桨上，确定放到位后取出钩子，注意石墨舟脚一定要放到桨外。 七、开机
开机前首先应打开冷却水、氮气、压缩空气、硅烷和氨气。
A. 合上配电柜电源总闸（设备黄绿红三色灯亮），合上设备控制电源开关、合上高频电源开关、
打开真空泵、打开抽风及硅烷烘烧塔电源。
B. 按“上电”开按钮，电脑自动启动完成后双击触摸屏PECVD图标，登陆PECVD计算机工
艺自动控制系统。
C. 检查操作系统托盘处PCL—8.36PWM脉冲输出设备是否自动启动，启动时高频仪上Pulsing
灯亮，未开脉冲严禁运行工艺。
D. 点系统中“手动”按钮，进入手动模式。 E. 点“氮气”气阀充氮至“常压”，点“打开炉门”，点桨控制按钮下，当屏幕上升降下位灯亮
时，点桨控制按钮上升至上位，点关炉门。
F. 当屏幕上显示炉口关到位时，点“慢抽”阀打开慢抽，待提示开主抽时打开主抽，将石英管
内抽至真空时，按下“加热”按钮打开加热系统。
G. 升温30分钟至设定温度时就可运行自动程序，在整个开机过程中注意观察设备运行是否正
常，如有故障立即请相关人员处理。
八、自动运行
在自动运行前根据不同意义选择不同工艺，不允许选错工艺。
A. 工艺运行：在手动界面时选择工艺，点“编辑”输入相应用户密码进入选择档，选择“正常
工艺”打开进入工艺编辑界面，检查各项工艺参数，如正确点“检查”、“更新”确定后返回操作系统图，不正确应立即请相关人员调整。
B. 将装好硅片的石墨舟放在桨上，检查无误后点“监视”退出手动，点“启动”按钮检查提示
的各项要求是否满足，选择工艺是否正确，都没问题后点“确定”进入自动运行界面。 C. 放舟时桨为上位，石英管内充氮气恢复到“常压”后点“跳步”、“放舟”、“确定”开始放舟，
注意观察舟脚是否会碰到炉口法兰盘，放舟时操作员不能走开，如有异常立刻按下“急停”开关，找相关人员处理。
D. 当班放第一舟或不能放电时用手电筒在后观察窗查看电极叉是否到位。
E. 工艺运行时注意观察，氨气流量、硅烷流量、管压、温度、各气阀状态、高频功率、放电时
间、步设置时间及指示灯状态是否正常。
F. 工艺运行至“取舟”步时，操作人员就观察桨是否低于石墨舟进入石英管，如出现高于石墨
舟立刻按“急停”，找相关人员处理。
G. “取舟”动作完成后，操作人员戴好高温手套用石墨舟专用钩子将舟提至冷却箱中，将装满
硅片的石墨舟放到桨上。重复运行工艺。
H. “取舟”后暂无装好硅片的石墨舟时，点“中止”按钮中止自动运行，进入手动模示关闭炉
门将石英管内抽至真空。
I. 当设备自动运行中送气或放电开始时出现故障，点“跳步”、“恒温”、“确定”、“保持”。待故
障排除后再点“保持”继续自动运行。
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当设备在淀积步出现故障时，点“跳步”、“恒温”、“确定”、“保持”。 待故障排除后在工艺编辑窗口中减掉前面淀积时间，更新后回到自动界面点“保持”继续运行工艺，淀积步骤完后编辑窗口中恢复更新回正常工艺。 K. 如需开炉门解决的故障应点“跳步”、“待定”、“确定”，待自动运行至结束后才能充氮气开炉
门处理故障。
九、取片
A. 取片时石墨舟工作台的操作同装片一样。 B. 将冷却至常温的石墨舟提至工作台上，左手拿好已放入硅片托垫的承载盒，右手持石英吸笔，
按插片相反方向取出已镀好膜的硅片。
C. 目测表面、膜厚、合格片放入承载盒，不合格的返工，取片数目按PECVD作片原始记录取
出，并按批次叠好。
D. 取完一批后按“PECVD作片原始记录”上数据填写生产流程卡，并注明操作人和时间。 E. 已镀膜合格硅片按原片厂家、批次顺序整齐摆放到储存柜中，注意在放片时承载盒之间应加
防滑垫片，生产流程卡压在中间。
十、关机
关机前应将石英管内抽至真空，再按下列步骤依次进行： 按“加热”关按钮-----关闭“主抽”、“慢抽”-----关真空泵-----退出“PECVD工艺自动控制系统”
-----关电脑-----按“上电”关按钮------关设备控制电源、高频电源、真空泵电源-----关闭各气路-----关配电柜总闸-----关掉设备抽风和硅烷燃烧塔----待法兰盘冷却至60摄氏度以下时关冷却水。
J.
十一、注意事项
1、 装片前一定要确认扩散面，严格按照生产要求，统一各工序的片盒标记。 2、 石墨舟上舟时一定要确认石墨舟电极（详情请参照设备操作规程）。 3、 随时检查石英吸笔吸盘垫片是否污染太脏应即时更换。 4、 镀膜后的硅片要避免摩擦碰撞。
5、 刚出炉的石墨舟温度较高注意手和衣服不要中碰到石墨舟和桨，防止烫伤。
6、 由于本工序接触的硅片和石墨舟都是价格昂贵的易碎品，在操作和搬运时应防止跌落、
碰撞等造成不必要的损失。
7、 在石墨舟工作台上有舟时每次操作都必须用手扶住石墨舟，杜绝在操作过程中造成石墨
舟跌落。
8、 为保证操作员自身人生安全和健康，炉口必须在石英管完成清洗步骤后才能打开。 9、 在送片、取片过程中严格仔细观察运行过程，不要让石墨舟碰到法兰盘，如发现异常立
即按下“急停”按钮中止浆的动作，手动调整。 10、 不要长时间让石英管暴露在空气中，10分钟以上（包括放舟）应关闭炉口抽成真
空，防止真空系统出现问题。 11、 在自动运行工艺“恒压”至“淀积”时，设备出现故障不能抽空或流量计失录，
应立即关掉设备上的“特气阀”，找相关人员处理。 12、 炉体内有石墨舟严禁再往里面放舟。
13、 提取石墨舟时应轻拿轻放，由于连接件为陶瓷杆，强度不高，所以要注意由于陶瓷杆
断开而引起的损伤。
14、 在设备运行过程中冷却水停掉，应立刻将石英管内抽成真空，关加热，关真空泵，待
冷却水恢复后重新启动。
15、 在设备操作中不准带疑问操作设备，有疑问的询问清楚再操作。 16、 该工序使用了特种气体，要严格操作规程。
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