内容发布更新时间 : 2024/5/18 2:44:48星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

设备配置及技术规格要求

包: 场发射扫描电子显微镜 套

. 工作条件

环境温度 ±℃

相对湿度 <

电源 (±),

连续工作时间 连续操作

. 技术说明

该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器

()、电子束减速装置()、射线能谱等、附件和零部件组成。

技术参数

* 分辨率 ( )

( )

加速电压

：

模式：

减速模式：

* 电子束流 最小束流≤；最大束流≥

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* 放大倍数

低放大模式：

普通放大模式：

电子光学系统

电子枪 场发射

对中 自动

* 光栏孔径角最优控制镜 标配

物镜 强励磁圆锥形物镜

像散器 自动消像散记忆功能

过滤器：标配（利用二次电子探头可以得到二次电子像和二次电子与背散射像的不同比例的混合像）

电子束减速装置（）：标配（可以保证低电压下的的分辨率）

样品室和样品台

样品台 全对中样品台

* 类型 五轴（；；；；）马达驱动样品台

* 行程 ≥; ≥; ≥

倾斜

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旋转 连续

样品更换 快速气锁更换样品

真空系统

自动真空抽气及诊断系统 真空度：≤ (电子枪)；≤ (样品室)

*真空泵：分子泵（磁悬浮型）≥；机械泵≥；离子泵×台 保护：断电、漏电、真空保护 带有冷阱减小样品污染

* 主动式减震系统标配

探测器

*二次电子探头：提供高位二次电子探头和低位二次电子探头（两个探测器）

* 背散射电子探头：提供高灵敏半导体背散射电子探头

射线能谱仪性能指标

高效高分辨能谱仪探测器 (电制冷，即开即用)

元素分析范围: ()

探测器晶体面积: 平方毫M

* 分辨率: 优于 ，线,（～分辨率保持不变）。元素分辨率优于

* 晶体类型：第五代水滴形晶体，低噪音嵌入式场效应管

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