内容发布更新时间 : 2024/12/26 1:42:31星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

微波等离子体

? 微波等离子体反应器特点：

微波：为交流能量（信号），通过波导传输，每一种波导

具有一定的特征阻抗

（射频传输线理论）

等离子体的反应器：本质上是具有一定阻抗的负载。 微波等离子体工作要求： 波导特征阻抗=等离子体负载

阻抗。

微波反射波能量将至最低。

? 微波等离子体反应器发展：

小尺寸共振腔---->表面波长细等离子体--->大面

积（体积）表面波等离子体。

? 微波等离子体反应器结构： ⊙单模谐振腔

谐振腔尺寸: R??,d??（谐振条件）

阻抗匹配: 好，可以不设置附加匹配。 激励电场

单模（单一本征模） 方向：图中电场沿轴向。

状态：驻波

缺点：体积小（？）

电场不均匀-----〉等离子体空间均匀性差。

应用：放电灯，光谱分析。

石英管 微波源 同轴传输线 同轴耦合天线 谐振条件：R??,d??

⊙多模腔

谐振腔尺寸: R???;d???（非谐振） 阻抗匹配: 差，需要附加匹配。

优点：电场较均匀-----〉等离子体空间均匀性好。

⊙表面波等离子体（surface microwave plasma,SWP）源

尺寸: R??（谐振条件），轴向尺寸没有限制

阻抗匹配: 需要设置附加匹配。 激励电场

单模或多模（单一本征模）

状态：行波 优点：大体积，细长 缺点：面积小

应用：气体反应（甲烷--->乙炔），有害气体处理