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文件名： 文件编号：HN5-5-T-SE-005 生效日期：2011年7月15日 版本：A/0 页码：1/5 PECVD设备操作作业指导书 PECVD设备操作作业指导书

1. 目的

确保一次PECVD设备处于良好的运行状态。 2. 适用范围

PECVD设备操作及保养。 3. 参考

设备管理程序。 4. 责任

本规程由设备及工艺工程师负责制定，生产部PECVD员工负责日常的生产操作。 5 内容 5.1操作顺序

开机前确认水、电、气正常，具体解释为：水：冷却循环水压力（压差）达到0.2~0.4Mpa，电：符合说明书中设备规定的标准；气：包括氮气、硅烷、氨气、压缩空气；开启硅烷瓶阀门，检查压力表低压端压力指示处于0.1~0.2Mpa；开启氨气瓶阀门，检查压力表低压端压力指示处于0.4~0.5Mpa；开启气源柜内硅烷和氨气阀门；对于氮气和压缩空气，由于在设备停机后并不关闭，只要检查压力正常即可，氮气压力为0.2~0.3Mpa，压缩空气为0.5Mpa。检查正常后可以合上墙上总电源。注意此时设备部分地方已经带电，请注意安全。 5.2非连续性生产

5.2.1按下控制面板的“上电开”按钮，计算机将自动启动；按下“加热开”按钮； 5.2.2进入计算机的控制系统，并处于手动模式，将反应管内充氮至常压，打开炉门，检查反应管内有无石墨舟，如果有则必须执行一次“取片”动作，将推舟系统下沉至“升降舟下位”，然后进入自动界面跳转至“取片”步；如果反应管内没有石墨舟，则仍然要对推舟系统进行复位（升降舟中位和上位由旋转编码器定位，无断电保持功能），将推舟系统下沉至“升降舟下位”，在上升至“升降舟上位”，待石墨舟放上推舟杆后进入自动界面，跳转至“送片”，程序将执行正常的工艺步奏。在运行的过程中应该注意每一步运行是否正常，正常的基本标准是：1慢抽步，主要确认炉门关闭良好，炉口无明显的漏气声音。慢抽时间约三分钟后压力低于900Pa；主抽步，显示屏上“真空”灯变绿，两分钟后压力低于10Pa；恒温步，同主抽步；恒压步，压力低于300Pa，氨气阀打开，硅烷阀打开，主抽打开；淀积步，高频打开，其它同恒压，注意辉光稳定；抽空步，主抽和慢抽打开；清洗充氮步，充氮阀打开，主抽和满抽打开；充氮步，主抽和慢抽关闭，充氮阀打开，约1.5分钟常压灯亮；取片步，常压灯亮，注意推舟系统全过程，注意石墨舟和石英管的安全性；送片步，常压灯亮，注意推舟系统的全过

文件名： 文件编号：HN5-5-T-SE-005 生效日期：2011年7月15日 版本：A/0 页码：2/5 PECVD设备操作作业指导书 5.3连续性生产：

程，注意石墨舟和石英管的安全性； 5.3.1按下控制面板的“上电开”按钮，计算机将自动启动；按下“加热开”按钮； 5.3.2保证石英管内无石墨舟，将石墨舟放上后启动自动运行程序，并选择自循环方式，跳转

至送片步即可。工艺过程完毕后将会提示装卸片窗口，换上新的石墨舟后即可开始下一个循环。注意事项参照正常步的条件。 5.4 注意事项 5.4.1安全性

5.4.1.1.在“送片”、“取片”过程中严格仔细观察运动过程,不要让石墨舟碰到法兰.如发

现情况异常,可按“急停”按钮中断推舟机构。

5.4.1.2.如果发生片子短路，跳出至第12步“抽空”，让其自动将石墨舟取出，提石墨舟至

桌子上检查装片情况。

5.5 故障排除 5.5.1.送片过程：

A推进过程发现石墨舟有可能碰到法兰则按“急停”按扭或人为将杆子往上托起一点让石墨舟能顺利进入；

B在退出过程中发现把石墨舟往外拉出则立即按“急停”按扭，并想办法将石墨舟拉到杆上，回到手动将石墨舟退出，重新进到送片动作； 5.5.2.取片过程：

在退出时没将石墨舟带出则按“急停”按钮并想法将石墨舟拉到杆上退出； 5.5.3.运行中发现提示真空泵没打开，禁止开慢抽或主抽；

此故障是计算机与泵的通讯出了错。将两台泵的通讯线互换一下，让显示屏上的真空泵颜色变为亮绿色即可，然后将线换回；

5.5.4断水时将加热关闭，并保持反映室为真空状态，以免损坏真空系统；

5.5.5不要长时间让反应室暴露大气,建议总暴露时间不超过15分钟（其中包括送片和取片全过程），以免影响真空管路及测量系统；

5.5.6当炉门打开后，人员身体任何部位不要在炉门附近，以免由于某种原因炉门关闭而造成人员伤害；

5.5.7提取石墨舟时轻拿轻放，由于连接件为陶瓷杆，强度不是很高，所以要注意由于陶瓷杆断开而引起的损伤；

5.5.8如发现设备外围漏水等情况，必须先直接切断墙上总电源，泵的电源只有直接切断墙上

文件名： 文件编号：HN5-5-T-SE-005 生效日期：2011年7月15日 版本：A/0 页码：3/5 PECVD设备操作作业指导书 总电源才能完全断电。 5.6 各部件开启条件

炉门开启前提条件：1、“常压”灯亮；2、“推舟退到位”亮； 炉门关闭前提条件：1、“推舟退到位”亮；

手动推舟运动的前提条件：1、炉门“旋转开到位”亮；2、炉门汽缸“退到位”亮；3、“常压”灯亮；

送片运动的前提条件：1、炉门“退到位”亮；2、炉门汽缸“退到位”亮；3、“常压”灯亮；4、升降处于“上位”；5推舟处于“退到位”；

取片运动的前提条件：1、炉门“退到位”亮；2、炉门汽缸“退到位”亮；3、“常压”灯亮；4、升降处于“下位”；5推舟处于“退到位”；

慢抽开启前提条件：1、炉门“旋转关到位”亮；2、炉门汽缸“进到位”亮； 主抽开启前提条件：1、“真空”灯亮； 特气阀开启前提条件：1、真空压力低于600Pa；

射频电源稳定工作条件：1、压力稳定；2、无片子短路；3、电极接触良好；

以上信号注意“常压”信号的正确性，由于此信号为电接点压力表提供，触点的力较小，有时需要人为轻轻啪一下电接点压力表，让“常压”灯亮；

“真空”信号为电接点压力表与真空测量压力表共同提供的，信号较为可靠； 推舟系统的到位信号除了升降“上位”和升降“下位”是旋转编码器提供外，其它一律为光电行程开关定位；

由于旋转编码器无断电保持功能，注意在设备重新上电后，一定要对升降进行一次归原动作，方法是将升降机构往下运动，一直到“下位”，然后根据需要为送片还是取片，将其运动到“上位”或保持在“下位”；如果设备重新上电后没有对升降进行归原动作，有可能升降碰到极限开关，显示屏“极限开关”会亮，解决方法是停止升降动作，将固定升降极限开关的固

定板送开，将升降运动至“下位”，再固定好极限开关的固定板； 5.7 设备关闭方法

1、关闭加热；2、将反应室抽成真空；3、关闭慢抽和主抽；4、关闭真空泵；5、退出系统；6、关闭设备控制电源；7、断开墙上总电源； 5.8 设备启动方法

1、合上配电柜总电源；2、开启设备控制电源；3、进入计算机系统；4、开启真空泵；5、开启加热；6、选定工艺文件；（注意检查水、电、气）；

文件名： 文件编号：HN5-5-T-SE-005 生效日期：2011年7月15日 版本：A/0 页码：4/5 PECVD设备操作作业指导书 5.9 设备定期检查的事项 除了说明书上指明的外，增加如下：

1）尾气排风管一周之内必须检查、清洗一次管路； 2）经常检查泵的水流量、和N2供应；

3）检查特气的供气压力，SiH4不得低于1公斤压力，不得高于4公斤压力；NH3不得低于4公斤压力，不得高于6公斤压力；

4）每天检查设备炉体前后的水冷法兰的温度，不得高于70度； 5）经常检查石墨舟上的电极叉的变形程度，如变形严重应当更换； 6）经常检查炉门上的两个螺钉是否松动，如松动，稍微拧紧即可。 5.10 石墨舟清洗程序

如果石墨舟用了50炉左右，而且红片数量增加，就有必要对其清洗，清洗方法如下： 5.10.1 将石墨舟上的金属部件拆下来；

5.10.2 将石墨舟放到浓度为10%的氢氟酸溶液里浸泡，观察石墨舟的颜色变化（约2小时），当呈现石墨舟本身颜色后，将石墨舟放到去离子水里浸泡1小时，并反复冲洗干净；

5.10.3 将石墨舟放到设置为100度的烘箱里，烘干1.5小时，再将烘箱设置为250度，烘干2小时；

5.10.4 将石墨舟上的金属部件装好，放到设备里进行放电1小时；

在以上过程中，一定要注意，绝对不能将没有充分烘干的石墨舟放到反应室里去，否则将严重损坏设备的真空管路和特气管路以及各种测量系统，所导致的后果很难在短时间内解决。一定要保持真空系统的洁净性。 5.11 反应室（石英管）内的维护 5.11.1 定期将碎片拿出；

5.11.2 如果里面有大量的金黄色粉尘，将设备温度降至室温，用无尘布擦掉即可； 5.11.3 清洗石英管的工作由于牵涉真空系统，为了保证安全，可以联系设备厂家； 5.12 推舟、炉门机构运动部件的保养 5.12.1 定期在导轨和丝杆上加润滑油；

5.12.2 如果发现推舟机构异常，先与设备厂家联系； 5.13 特气管路防止污染

5.13.1 污染一般发生在更换硅烷和氨气瓶的过程中，只要有一次少量空气或水分进入，将给设备带来难以复原的严重后果，特别是硅烷管路更加如此；

文件名： 文件编号：HN5-5-T-SE-005 生效日期：2011年7月15日 版本：A/0 页码：5/5 PECVD设备操作作业指导书 5.13.2 特气管路被污染以肉眼是难以观察到的，将在设备的工艺过程中体现出来，如所淀积的膜发生严重的不稳定，需要改变流量才能生产，那么说明已经被污染，随着时间的推移，很快设备将变得极不稳定，这时已经可以判断出管路受到了污染。

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