内容发布更新时间 : 2024/5/9 15:39:51星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

工艺常见问题以及解决方法（Intex） 常见问题 解决方法 备注 腐蚀槽漏液，表手动加液（HF加液每次5L，可能是后面的循环泵漏液1 现为腐蚀槽流量HNO3和DI水按溶液设定的导致腐蚀液液面下降 明显下降 初始配比加） 加快带速或降低腐蚀槽温2 腐蚀量过高 度（在可调范围内调节，否在该腐蚀量回到正常水平则通知当班工艺技术员） 的时候，应该将所调节的参降低带速或升高腐蚀槽温数改回原数值 3 腐蚀量过低 度（在可调范围内调节，否则通知当班工艺技术员） 减少HNO3的补液量（在可制绒后片子表面4 调范围内调节，否则通知当发亮 在该表面情况回到正常水班工艺技术员） 平的时候，应该将所调节的减少HF的补液量（在可调参数改回原数值 制绒后片子表面5 范围内调节，否则通知当班有过多暗纹 工艺技术员） 1、手动NaOH加液，一般加2到3L，再观察情况，若一批以后情况仍无改善通知制绒后片子表面当班工艺技术员 检查NaOH的配药时间，是6 有棕黄色残留物 2、检查3槽出口风刀是否否已经清洗超过20000片 风量过小或堵住，导致携带很多水进入4槽，而无法硅片表面清洗干净 检查2号槽出口水刀放置减薄量逐渐变注意水刀放置时角度，还有的角度是否偏移或者水流7 小，加液后没有风刀的角度，每次清线后都量是否过大，导致部分水流明显效果 要检验 入制绒槽 由于每天第一批次所生产时温度较低，故第一批次的这样不会导致称重片的腐称重片在整批次腐蚀量较低，而后面批次的8 蚀量变化过大导致在过程的位置不统一 腐蚀量会随着温度的提高中误操作补液量 而提升，所以称重片要放在整个批次的中间 检查酸房供酸桶是否已抽空并换桶，检查储液桶的液集中供液添加桶位传感器是否正常，以及酸换药的时候一定要暂停生9 添加时间过长 房是否报警，如有异常必须产并等换完药后再生产 通知当班工艺技术员和设备人员 1、检查NaOH槽、酸洗槽气动泵气压，是否因为气压太小导致泵未打开，引起各槽下料的硅片表面浓度过低，而清洗不干净 10 没有清洗干净 2、检查碱洗酸洗槽的配药时间是否清洗已超过20000片，如超过必须换药后再生产 供酸房管道不够大，导致与配槽时进液时间11 库特勒设备供酸时间匹配太长 不一致 1、整体溶液未被激活，而部分溶液温度不稳定，如果刚配完液时腐蚀可以就跑部分假片 12 量不足 2、在溶液激活的情况下腐蚀量仍不足，建议加一些HNO3，少加HF 将未清洗干净的硅片再次返工清洗 注： 1、出现异常现象后，在分析工艺原因时务必结合现场的实际情况，检查设备的各槽体和其他部门是否有异常（比如腐蚀液状况是否正常，温度波动是否在工艺范围要求内，自动补液系统是否有堵塞等），并请设备人员协同一起解决。 2、可调范围在各工序的PPM里，请工艺人员仔细阅读，若有更新会及时通知。