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电子显微镜在材料学科中的运用

----（《近代材料研究方法》结业论文）

学院：材料科学与工程学院 班级：110207 姓名：运浩 学号：20110819

电子显微镜在材料学科中的运用

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绪论 随着科学技术的发展进步，我们不在局限于观察宏观的物质或者结构，而电子显微镜的发明足以让我们观察到更细致的微观世界。在研究材料领域中，电子显微镜起着举足轻重的作用，而电子显微镜分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜。通过透射电镜可以方便的观察到，物质的微观结构，晶体的生长规律，检测各种材料的老化及疲劳损坏程度，分析各种材料中各种成分的分布规律及其各种元素间的比例关系。扫描电镜主要运用材料科学的表面结构研究，共混物的分相，各种复合材料的应力缺陷，物质晶体结构及其应力变化等。所以说在材料性能研究与开发中电子显微镜扮演着的角色永远那么重要。

前言 电子显微镜作为现代科技认识微观世界的重要纽带，先简单介绍一下其原理特点。首先，透射电子显微镜由电子光学系统；高压系统；数据采集系统；电子控制系统；真空系统等五大部分组成。LaB6灯丝在高压的作用下， 一束高能电子束。经过透镜、物镜、消像散等系统的调整，形成一束近似平行光的电子束作用于试样。电子束与试样将产生各种各样的作用。主要形成透过电子、弹性散射电子、非弹性散射电子。其次，扫描电子显微镜由高压系统、电子光学系统、

电源系统、真空系统、电子控制系统、图像采集系统六大部分组成。扫描电镜成像与透射电镜原理不同，不需要成像透镜，其图像是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。 正文

一、 电子显微镜在纳米材料方面的运用

扫描电子显微镜相对于光学显微镜、透射电子显微镜有一些极有价值的特点。首先，它能在很大的放大倍数范围工作，从几倍到几十万倍，相当于从光学放大镜到透射电镜的放大范围，并且具有很高的分辨率，可达1～3nm；其次，它具有很大的焦深，300倍于光学显微镜，因而对于复杂而粗糙的样品表面，仍然可得到清晰聚焦的图像，图像立体感强，易于分析；再次，样品制备较简单，对于材料样品仅需简单的清洁、镀膜即可观察，并且对样品的尺寸要求很低，操作十分简单。扫描电子显微镜(SEM)在纳米材料的形貌观察和尺寸检测方面依靠其高分辨率、良好的景深、简易的操作等优势,被大量应用。同时，受限于SEM成像原理及机械工艺的限制，成像质量的好坏受多种因素的影响，包括荷电效应、像散等无法避免但能尽量消除的因素和SEM各观测条件对成像影响的因素。但了解其原理后我们能尽最大程度去提高使用的准确性。

在纳米SnO2材料的电子显微镜表征的研究报告中，可以观察到在高分子链中分散包裹着大量纳米SnO2微晶,并且少见地观察到高分子材料成圆环链状形态，利用电子显微镜,可以对纳米SnO2材料微观结构进行观察.所制备的二氧化锡材料,晶颗大小约5 nm~10 nm,形