内容发布更新时间 : 2024/9/19 6:13:08星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

扫描电子显微镜的使用方法

一、样品制备

基本要求：试样在真空中能保持稳定，含有水分的样品要先烘干。对于导电性差的材料，一般要进行镀膜处理。试样要牢固固定在样品座上。

1. 块状试样的制备：用导电胶把试样粘附在样品座上，即可放入扫描电镜观察。 2. 粉末样品的制备：将粉末样品制成分散液，超声分散后，直接滴在样品座的导电胶上，或者滴在样品座上其他导电介质上（如单晶硅）。 二、样品放置 1. 开机

（1）检查真空、循环水状态。 （2）开启“Display”电源。 2、样品放置

（1）严格按照高度规定固定样品座。

（2） 按交换仓上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合上交换仓，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后， 按“Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。 三、观察与拍照

（1）根据样品特性与观察要求，在操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加高压。

（2）用滚轮将样品台定位至观察点，在操作界面中调整样品台高度。

（3）选择合适的放大倍数，点击“Align”键，调节旋钮盘，逐步调整电子束位置、物镜光阑中、消像散基准。

（4）在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。

（5）选择合适的图像大小与拍摄方法，按“Capture”拍照。 （6）根据要求选择照片注释内容，保存照片。 四、关机

（1）将样品台高度调回8mm。

（2）按“Home”键使样品台回到初始状态。

（3）“Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。 （4）退出程序，关闭电脑，关闭“Display”电源。

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