内容发布更新时间 : 2024/5/1 19:30:58星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

XPS软件分析说明

1.不同格式数据之间的转换

（1）将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据

Casaxps处理filename.vms格式的数据，我们的仪器可以直接给

filename.vms格式的数据，但一般情况下给出的是filename，不加任何后缀的文件，这种文件可以用记事本，excel，origin等打开，但是不能用Casaxps打开，但是可以转换成可以用casaxps打开的文件，转换方式如下：

将我们给出的原始数据用excel打开，将binding energy和intensity（CPS) 两列数据取出放在一个新建的txt文档下，删掉一些没用的东西，确保数据格 式符合X-Y两列。将修改好的txt文档改为dat文档（直接修改后缀），然后将 dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里，这个很重要，如果这个文 件夹里有其它格式的文件，那么就无法完成数据的转换。打开casaxps软件， 点convert按钮，在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件，打开 就完成了转换。记住，一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格 式的文件，这样会导致其它文件无法转换，将这个新生成的文件转移到其它 文件夹下就可以了，这样新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打开了。

（2）将filename.vms格式数据转换成txt格式数据

在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开， 点击 save Tab Ascll to clipbard 按钮 , 出现如下界面， 点击copy all to clipboard键， 将clipboard section 界面关闭后， 将复制的数据粘贴到txt文档即可。

Casaxps软件处理filename.vms格式的文件

1.用casaxps处理宽谱 能够得到的信息:

（1）定性分析：归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。

峰归属步骤

打开vms格式文件，点击Options →Elements，出现Element library窗口，点击Periodic table，出现一张元素周期表，点击find peak，宽谱上各个峰就被归属了。但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。点击 Options →Annotation，出现Annotation窗口，点击peak labels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰归属与标记就完成了。然后点击Options → Tile display，出现Tile display parameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1 wide。

（2）元素含量分析

含量分析步骤

在峰归属基础上，点击 Options →Elements→Periodic table→Find peaks， 宽谱上可能有的元素在周期表上为红色，选择想要计算元素含量的元素，点 击Creat Region ,就计算出了各个元素的含量，然后点击Clear all elements。

另一种计算含量的方法： 正确识别各峰后，可以按照处理窄谱的方法处理宽普：点击工作区使其处于激活状态， 点击quantify 按钮，出现下面界