内容发布更新时间 : 2024/11/20 4:31:55星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

直拉单晶操作规程

操 作 规 程

一、拆炉 1: 准备

确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。 2: 炉子清扫

2—1戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。

2—2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。 注意：1：石墨件不能用手接触。

2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。

3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。

2—3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。

注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。

2—4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。

注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。 2—5主炉清扫

戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，炉底。

注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。 2—6石墨件的清扫

吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。

2—7石墨件的装炉

(1) 埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。 (2) 三瓣埚装入后要平稳

2—8检查真空泵油位是否在2/3处 2—9检查真空泵油是否干净

二、装 炉 1: 准备

戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。 2: 装料

用较小的料3-5㎏铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。 注意：(1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。 (2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。

(3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。 3: 合炉

3—1料装好后，埚转开启2-3转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低于平口位置100㎜为宜，以防下限位失灵而造成损失，关闭埚转

3—2放导流筒后不要与硅材料接触

3—3用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉，并关闭液压泵。 4: 抽空

抽空前检查冷却水压力不低于1.5㎏，确认泵无异常，所有操作过程无遗漏的程序。按主室泵按钮2-3次运转1-2分钟，确认无异常，慢慢打开排气球阀，先打开1/3程度至压力表降到一半时，打开全部，开始抽出。

其次测量表数字下慢时，打开AR流量计，使AR气以30L/分的速度流入炉内，5分钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至4帕以下为止。 关闭球阀，检查泄漏，以5分钟不大于1帕为合格，准备加热。 注意：真空不到4帕以下不加热，一般抽出需20~40㎜，抽出时为取下的晶体刻号，填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。

溶 料

1：打开AR流量开关，使炉内压力为800帕左右

2：打开加热开关，按以下时段升温

时间：0min 30min 60min 30KW 60KW 90KW

3: 化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。 4： 料塌后要稍加锅位，锅转打到1转,注意液面与导流筒保持一定的距离，化硅完了，降低功率，到引晶功率，埚升到引晶埚位，温度稳定，将欧陆表切入“自动”。

5： 给定埚转 5r/min 晶转8r/min 6r/min 10r/min

8r/min 12r/min

降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数。

引晶 放肩 转肩 1: 引晶

调整欧陆表温度至引晶温度,先把晶转打开, 晶转8r/min; 10r/min; 12r/min

降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埚

转 5r/min ; 6r/min ; 8r/min 发现有四条棱出现方可引晶。(或者:3min后根据光圈情况调整温度，合适时方可引晶，不合适时，10min后引晶。)

1—2 打开晶开电源，晶升计长清零，开始引晶初始晶升拉速1-1.5㎜/min，温度合适后，拉速1.5-6㎜/min,引晶30㎜后一般拉速2~6㎜/min,细颈直径3~4㎜为宜，细颈长度120~150㎜以上，视细颈直径而定。目的使位错全部消失。 注：找温度要有耐心，不要反复调节温度缩晶断，要重新接触好光圈，方可缩晶。 2：放肩

缩细颈结束后，将拉速调整到0.4㎜/min进行放肩。降欧陆SP以降低温度放平肩随时用测经仪测量直径大小。 3：转肩

距目标直径5㎜左右时，将晶升调至1.5~2.8㎜之间转肩。转肩时拉速不应过快，根据转肩情况，慢慢降拉速到设定的拉速(1.15)，降低温度，把埚身;埚跟比;埚升电源打开;sl/cl曲线打入自动,同时计长清零，埚位清零。调整伊尔根光圈，压入光圈1/3之内(规定的