光电传感器技术的新发展及应用毕业论文

内容发布更新时间 : 2025/4/3 19:25:44星期一 下面是文章的全部内容请认真阅读。

第二章 光电传感器基本原理 10

关系,因此将它接在运放的正、反相输入端之间,利用这两端电位差接近于零的 特点,可以得到较好的效果。在图中所示条件下,输出电压

由光通量对光电元件的作用原理不同所制成的光学测控系统是多种多样的,按光电元件(光学测控系统)输出量性质可分二类,即模拟式光电传感器和脉冲(开关)式光电传感器.模拟式光电传感器是将被测量转换成连续变化的光电流,它与被测量间呈单值关系.模拟式光电传感器按被测量(检测目标物体)方法可分为透射(吸收)式,漫反射式,遮光式(光束阻档)三大类.所谓透射式是指被测物体放在光路中,恒光源发出的光能量穿过被测物,部份被吸收后,透射光投射到光电元件上,如测液体、气体透明度和混浊度的光电比色计等;所谓漫反射式是指恒光源发出的光投射到被测物上,再从被测物体表面反射后投射到光电元件上,如光电比色温度计和光照度计等;所谓遮光式是指当光源发出的光通量经被测物光遮其中一部份,使投射刭光电元件上的光通量改变,改变的程度与被测物体在光路位置有关,如振动测量、工件尺寸测量;而在脉冲式光电传感器中在这种传感器中,光电元件接受的光信号是断续变化的,因此光电元件处于开关工作状态,它输出的光电流通常是只有两种稳定状态的脉冲形式的信号,多用于光电计数和光电式转速测量等场合。

第三章 CCD传感器 11

第三章 CCD传感器

3.1 光固态图象传感器

光固态图象传感器由光敏元件阵列和电荷转移器件集合而成。它的核心是电荷转移器件CTD(Charge Transfer Device),最常用的是电荷耦合器件CCD(Charge Coupled Device)。CCD自1970年问世以后,由于它的低噪声等特点,CCD图象传感器广泛的被应用在微光电视摄像、信息存储和信息处理等方面,尤其适用以上领域中的图像识别技术。

3.1.1 CCD的结构和基本原理

图12 CCD的MOS结构

CCD是由若干个电荷耦合单元组成,该单元的结构如图12所示。CCD的最小单元是在P型(或N型)硅衬底上生长一层厚度约为120nm的SiO2,再在SiO2层上依次沉积铝电极而构成MOS的电容式转移器。将MOS阵列加上输入、输出端,便构成了CCD。

当向SiO2表面的电极加正偏压时,P型硅衬底中形成耗尽区(势阱),耗尽区的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载流子(电子)被吸收到最高正偏压电极下的区域内(如图中Ф1极下),形成电荷包(势阱)。对于N型硅衬底的CCD器件,电极加正偏压时,少数载流子为空穴。

如何实现电荷定向转移呢?电荷转移的控制方法,非常类似于步进电极的步进控制方式。也有二相、三相等控制方式之分。下面以三相控制方式为例说明控制电荷定向转移的过程。见图13(a)

第三章 CCD传感器 12

图13 电荷转移过程

三相控制是在线阵列的每一个像素上有三个金属电极P1,P2,P3,依次在其上施加三个相位不同的控制脉冲Φ1,Φ2,Φ3,见图13(b)。CCD电荷的注入通常有光注入、电注入和热注入等方式。图13(b)采用电注入方式。当P1极施加高电压时,在P1下方产生电荷包(t=t0);当P2极加上同样的电压时,由于两电势下面势阱间的耦合,原来在P1下的电荷将在P1、P2两电极下分布(t=t1);当P1回到低电位时,电荷包全部流入P2下的势阱中(t=t2)。然后,p3的电位升高,P2回到低电位,电荷包从P2下转到P3下的势阱(t=t3),以此控制,使P1下的电荷转移到P3下。随着控制脉冲的分配,少数载流子便从CCD的一端转移到最终端。终端的输出

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