工艺常见问题以及解决方法?/p>
Intex
?/p>
常见问题
解决方法
备注
1
腐蚀槽漏液,?/p>
现为腐蚀槽流?/p>
明显下降
手动加液
?/p>
HF
加液每次
5L
?
HNO3
?/p>
DI
水按溶液设定?
初始配比加)
可能是后面的循环泵漏?
导致腐蚀液液面下?/p>
2
腐蚀量过?/p>
加快带速或降低腐蚀槽温
?/p>
(在可调范围内调节,
?
则通知当班工艺技术员?/p>
在该腐蚀量回到正常水?
的时候,
应该将所调节的参
数改回原数?/p>
3
腐蚀量过?/p>
降低带速或升高腐蚀槽温
?/p>
(在可调范围内调节,
?
则通知当班工艺技术员?/p>
4
制绒后片子表?/p>
发亮
减少
HNO3
的补液量(在?
调范围内调节?/p>
否则通知?
班工艺技术员?/p>
在该表面情况回到正常?
平的时候,
应该将所调节?
参数改回原数?/p>
5
制绒后片子表?
有过多暗?/p>
减少
HF
的补液量(在可调
范围内调节,
否则通知当班
工艺技术员?/p>
6
制绒后片子表?/p>
有棕黄色残留?/p>
1
?/p>
手动
NaOH
加液?/p>
一般加
2
?/p>
3L
?/p>
再观察情况,
若一
批以后情况仍无改善通知
当班工艺技术员
2
、检?/p>
3
槽出口风刀是否
风量过小或堵住,
导致携带
很多水进?/p>
4
槽,
而无法硅
片表面清洗干净
检?/p>
NaOH
的配药时间,?/p>
否已经清洗超?/p>
20000
?/p>
7
减薄量逐渐?/p>
小,加液后没?/p>
明显效果
检?/p>
2
号槽出口水刀放置
的角度是否偏移或者水?
量是否过大,
导致部分水流
入制绒槽
注意水刀放置时角度,
还有
风刀的角度,
每次清线后都
要检?/p>
8
称重片在整批?/p>
的位置不统一
由于每天第一批次所生产
时温度较低,
故第一批次?
腐蚀量较低,
而后面批次的
腐蚀量会随着温度的提?
而提升,
所以称重片要放?/p>
整个批次的中?/p>
这样不会导致称重片的?
蚀量变化过大导致在过程
中误操作补液?/p>
9
集中供液添加?/p>
添加时间过长
检查酸房供酸桶是否已抽
空并换桶?/p>
检查储液桶的液
位传感器是否正常?/p>
以及?/p>
房是否报警,
如有异常必须
通知当班工艺技术员和设
备人?/p>
换药的时候一定要暂停?/p>
产并等换完药后再生产