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工艺常见问题以及解决方法?/p>

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?/p>

 

 

 

常见问题

 

解决方法

 

备注

 

1 

腐蚀槽漏液,?/p>

现为腐蚀槽流?/p>

明显下降

 

手动加液

?/p>

HF

加液每次

5L

?

HNO3

?/p>

DI

水按溶液设定?

初始配比加)

 

可能是后面的循环泵漏?

导致腐蚀液液面下?/p>

 

2 

腐蚀量过?/p>

 

加快带速或降低腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

在该腐蚀量回到正常水?

的时候,

应该将所调节的参

数改回原数?/p>

 

3 

腐蚀量过?/p>

 

降低带速或升高腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

4 

制绒后片子表?/p>

发亮

 

减少

HNO3

的补液量(在?

调范围内调节?/p>

否则通知?

班工艺技术员?/p>

 

在该表面情况回到正常?

平的时候,

应该将所调节?

参数改回原数?/p>

 

5 

制绒后片子表?

有过多暗?/p>

 

减少

HF

的补液量(在可调

范围内调节,

否则通知当班

工艺技术员?/p>

 

6 

制绒后片子表?/p>

有棕黄色残留?/p>

 

1

?/p>

手动

NaOH

加液?/p>

一般加

2

?/p>

3L

?/p>

再观察情况,

若一

批以后情况仍无改善通知

当班工艺技术员

 

2

、检?/p>

3

槽出口风刀是否

风量过小或堵住,

导致携带

很多水进?/p>

4

槽,

而无法硅

片表面清洗干净

 

检?/p>

NaOH

的配药时间,?/p>

否已经清洗超?/p>

20000

?/p>

 

7 

减薄量逐渐?/p>

小,加液后没?/p>

明显效果

 

检?/p>

2

号槽出口水刀放置

的角度是否偏移或者水?

量是否过大,

导致部分水流

入制绒槽

 

注意水刀放置时角度,

还有

风刀的角度,

每次清线后都

要检?/p>

 

8 

称重片在整批?/p>

的位置不统一

 

由于每天第一批次所生产

时温度较低,

故第一批次?

腐蚀量较低,

而后面批次的

腐蚀量会随着温度的提?

而提升,

所以称重片要放?/p>

整个批次的中?/p>

 

这样不会导致称重片的?

蚀量变化过大导致在过程

中误操作补液?/p>

 

9 

集中供液添加?/p>

添加时间过长

 

检查酸房供酸桶是否已抽

空并换桶?/p>

检查储液桶的液

位传感器是否正常?/p>

以及?/p>

房是否报警,

如有异常必须

通知当班工艺技术员和设

备人?/p>

 

换药的时候一定要暂停?/p>

产并等换完药后再生产

 

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常见问题

 

解决方法

 

备注

 

1 

腐蚀槽漏液,?/p>

现为腐蚀槽流?/p>

明显下降

 

手动加液

?/p>

HF

加液每次

5L

?

HNO3

?/p>

DI

水按溶液设定?

初始配比加)

 

可能是后面的循环泵漏?

导致腐蚀液液面下?/p>

 

2 

腐蚀量过?/p>

 

加快带速或降低腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

在该腐蚀量回到正常水?

的时候,

应该将所调节的参

数改回原数?/p>

 

3 

腐蚀量过?/p>

 

降低带速或升高腐蚀槽温

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(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

4 

制绒后片子表?/p>

发亮

 

减少

HNO3

的补液量(在?

调范围内调节?/p>

否则通知?

班工艺技术员?/p>

 

在该表面情况回到正常?

平的时候,

应该将所调节?

参数改回原数?/p>

 

5 

制绒后片子表?

有过多暗?/p>

 

减少

HF

的补液量(在可调

范围内调节,

否则通知当班

工艺技术员?/p>

 

6 

制绒后片子表?/p>

有棕黄色残留?/p>

 

1

?/p>

手动

NaOH

加液?/p>

一般加

2

?/p>

3L

?/p>

再观察情况,

若一

批以后情况仍无改善通知

当班工艺技术员

 

2

、检?/p>

3

槽出口风刀是否

风量过小或堵住,

导致携带

很多水进?/p>

4

槽,

而无法硅

片表面清洗干净

 

检?/p>

NaOH

的配药时间,?/p>

否已经清洗超?/p>

20000

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7 

减薄量逐渐?/p>

小,加液后没?/p>

明显效果

 

检?/p>

2

号槽出口水刀放置

的角度是否偏移或者水?

量是否过大,

导致部分水流

入制绒槽

 

注意水刀放置时角度,

还有

风刀的角度,

每次清线后都

要检?/p>

 

8 

称重片在整批?/p>

的位置不统一

 

由于每天第一批次所生产

时温度较低,

故第一批次?

腐蚀量较低,

而后面批次的

腐蚀量会随着温度的提?

而提升,

所以称重片要放?/p>

整个批次的中?/p>

 

这样不会导致称重片的?

蚀量变化过大导致在过程

中误操作补液?/p>

 

9 

集中供液添加?/p>

添加时间过长

 

检查酸房供酸桶是否已抽

空并换桶?/p>

检查储液桶的液

位传感器是否正常?/p>

以及?/p>

房是否报警,

如有异常必须

通知当班工艺技术员和设

备人?/p>

 

换药的时候一定要暂停?/p>

产并等换完药后再生产

 

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常见问题

 

解决方法

 

备注

 

1 

腐蚀槽漏液,?/p>

现为腐蚀槽流?/p>

明显下降

 

手动加液

?/p>

HF

加液每次

5L

?

HNO3

?/p>

DI

水按溶液设定?

初始配比加)

 

可能是后面的循环泵漏?

导致腐蚀液液面下?/p>

 

2 

腐蚀量过?/p>

 

加快带速或降低腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

在该腐蚀量回到正常水?

的时候,

应该将所调节的参

数改回原数?/p>

 

3 

腐蚀量过?/p>

 

降低带速或升高腐蚀槽温

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(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

4 

制绒后片子表?/p>

发亮

 

减少

HNO3

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调范围内调节?/p>

否则通知?

班工艺技术员?/p>

 

在该表面情况回到正常?

平的时候,

应该将所调节?

参数改回原数?/p>

 

5 

制绒后片子表?

有过多暗?/p>

 

减少

HF

的补液量(在可调

范围内调节,

否则通知当班

工艺技术员?/p>

 

6 

制绒后片子表?/p>

有棕黄色残留?/p>

 

1

?/p>

手动

NaOH

加液?/p>

一般加

2

?/p>

3L

?/p>

再观察情况,

若一

批以后情况仍无改善通知

当班工艺技术员

 

2

、检?/p>

3

槽出口风刀是否

风量过小或堵住,

导致携带

很多水进?/p>

4

槽,

而无法硅

片表面清洗干净

 

检?/p>

NaOH

的配药时间,?/p>

否已经清洗超?/p>

20000

?/p>

 

7 

减薄量逐渐?/p>

小,加液后没?/p>

明显效果

 

检?/p>

2

号槽出口水刀放置

的角度是否偏移或者水?

量是否过大,

导致部分水流

入制绒槽

 

注意水刀放置时角度,

还有

风刀的角度,

每次清线后都

要检?/p>

 

8 

称重片在整批?/p>

的位置不统一

 

由于每天第一批次所生产

时温度较低,

故第一批次?

腐蚀量较低,

而后面批次的

腐蚀量会随着温度的提?

而提升,

所以称重片要放?/p>

整个批次的中?/p>

 

这样不会导致称重片的?

蚀量变化过大导致在过程

中误操作补液?/p>

 

9 

集中供液添加?/p>

添加时间过长

 

检查酸房供酸桶是否已抽

空并换桶?/p>

检查储液桶的液

位传感器是否正常?/p>

以及?/p>

房是否报警,

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通知当班工艺技术员和设

备人?/p>

 

换药的时候一定要暂停?/p>

产并等换完药后再生产

 

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多晶制绒异常情况处理 - 百度文库
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常见问题

 

解决方法

 

备注

 

1 

腐蚀槽漏液,?/p>

现为腐蚀槽流?/p>

明显下降

 

手动加液

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HF

加液每次

5L

?

HNO3

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水按溶液设定?

初始配比加)

 

可能是后面的循环泵漏?

导致腐蚀液液面下?/p>

 

2 

腐蚀量过?/p>

 

加快带速或降低腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

在该腐蚀量回到正常水?

的时候,

应该将所调节的参

数改回原数?/p>

 

3 

腐蚀量过?/p>

 

降低带速或升高腐蚀槽温

?/p>

(在可调范围内调节,

?

则通知当班工艺技术员?/p>

 

4 

制绒后片子表?/p>

发亮

 

减少

HNO3

的补液量(在?

调范围内调节?/p>

否则通知?

班工艺技术员?/p>

 

在该表面情况回到正常?

平的时候,

应该将所调节?

参数改回原数?/p>

 

5 

制绒后片子表?

有过多暗?/p>

 

减少

HF

的补液量(在可调

范围内调节,

否则通知当班

工艺技术员?/p>

 

6 

制绒后片子表?/p>

有棕黄色残留?/p>

 

1

?/p>

手动

NaOH

加液?/p>

一般加

2

?/p>

3L

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再观察情况,

若一

批以后情况仍无改善通知

当班工艺技术员

 

2

、检?/p>

3

槽出口风刀是否

风量过小或堵住,

导致携带

很多水进?/p>

4

槽,

而无法硅

片表面清洗干净

 

检?/p>

NaOH

的配药时间,?/p>

否已经清洗超?/p>

20000

?/p>

 

7 

减薄量逐渐?/p>

小,加液后没?/p>

明显效果

 

检?/p>

2

号槽出口水刀放置

的角度是否偏移或者水?

量是否过大,

导致部分水流

入制绒槽

 

注意水刀放置时角度,

还有

风刀的角度,

每次清线后都

要检?/p>

 

8 

称重片在整批?/p>

的位置不统一

 

由于每天第一批次所生产

时温度较低,

故第一批次?

腐蚀量较低,

而后面批次的

腐蚀量会随着温度的提?

而提升,

所以称重片要放?/p>

整个批次的中?/p>

 

这样不会导致称重片的?

蚀量变化过大导致在过程

中误操作补液?/p>

 

9 

集中供液添加?/p>

添加时间过长

 

检查酸房供酸桶是否已抽

空并换桶?/p>

检查储液桶的液

位传感器是否正常?/p>

以及?/p>

房是否报警,

如有异常必须

通知当班工艺技术员和设

备人?/p>

 

换药的时候一定要暂停?/p>

产并等换完药后再生产

 



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