卉欣光电
1
拉晶工基本操作步éª?/p>
一
)
拉晶的基本操作分ä¸?/p>
13
个步éª?/p>
,
如下
:
1
系统启动
2
清炉
3
装料
4
抽空检æ¼?/p>
5
化料
6
全熔稳定
7
引晶缩颈
8
放肩
9
转肩
10
等径
11
收尾
12
停炉及热后真空检æ¼?/p>
13
拆炉
�/p>
)
具体明操ä½?/p>
⑴系统启åŠ?/p>
在系统启动时先通知机修工送电
,
待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单晶炉
冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用
.
打开控制柜电源后检查晶体转动升降和坩埚è½?/p>
动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位
,
坩埚上升及下降限位是否也调好
.
检查石å¢?/p>
件和籽晶钢丝绳重é”?/p>
,
钼拉头是否齐å…?/p>
⑵清ç‚?/p>
â‘?/p>
将炉内石墨件完好的取å‡?/p>
â‘?/p>
用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净
â‘?/p>
将真空泵抽空管道清理干净
â‘?/p>
将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净