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实验?/p>

 

 

扫描电镜的结构原理及图像衬度观察

 

一

 

实验目的

 

 

 

 

1 

结合扫描电镜实物?/p>

介绍其基本结构和工作原理?/p>

加深对扫描电镜结构及原理的了解?/p>

 

 

 

 

2

选用合适的样品,通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像?/p>

度原理及其应用?/p>

 

 

 

 

3 

利用二次电子像对断口形貌进行观察?/p>

 

?/p>

 

实验原理

 

1 

 

扫描电镜基本结构和工作原?/p>

 

 

 

 

 

扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描?/p>

与样品相互作用产生各种物理信

号.

这些信号经检测器接收?/p>

放大并转换成调制信号?/p>

最后在荧光屏上显示反映样品表面?/p>

种特征的图像?/p>

扫描电镜具有景深大?/p>

图像大体感强?/p>

放大倍数范围大连续可调?/p>

分辨率高?/p>

样品室空间大且样品制备简单等特点?/p>

是进行样品表面研究的有效分析工具?/p>

?/p>

4-1

为扫?/p>

电镜结构原理方框图?/p>

 

 

 

 

 

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多?/p>

一般约?/p>

1

?/p>

30kV

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实验时可根据被分

析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约?/p>

20kV

左右。扫描电镜的图像放大倍数?/p>

一定范围内?/p>

(几十倍到几十万?/p>

)

可以实现连续调整?/p>

放大倍数等于荧光屏上显示的图像横

向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比?/p>

扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜?/p>

所不同?/p>

其作用仅仅是为了提供扫描电子束.

作为使样品产生各种物理信号的激发源?/p>

扫描

电镜最常使用的是二电子信号和背散射电子信号?/p>

前者用于显示表面形貌衬度,

后者用于显

示原子序数衬度?/p>

 

 

 

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4-1 

 

扫描电镜结构原理方框?/p>

 

扫描电镜的基本结构可分为六大部分,电子光学系统、扫描系统?/p>

信号检测放大系统?/p>

图像

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扫描电镜的结构原理及图像衬度观察

 

一

 

实验目的

 

 

 

 

1 

结合扫描电镜实物?/p>

介绍其基本结构和工作原理?/p>

加深对扫描电镜结构及原理的了解?/p>

 

 

 

 

2

选用合适的样品,通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像?/p>

度原理及其应用?/p>

 

 

 

 

3 

利用二次电子像对断口形貌进行观察?/p>

 

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实验原理

 

1 

 

扫描电镜基本结构和工作原?/p>

 

 

 

 

 

扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描?/p>

与样品相互作用产生各种物理信

号.

这些信号经检测器接收?/p>

放大并转换成调制信号?/p>

最后在荧光屏上显示反映样品表面?/p>

种特征的图像?/p>

扫描电镜具有景深大?/p>

图像大体感强?/p>

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分辨率高?/p>

样品室空间大且样品制备简单等特点?/p>

是进行样品表面研究的有效分析工具?/p>

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4-1

为扫?/p>

电镜结构原理方框图?/p>

 

 

 

 

 

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多?/p>

一般约?/p>

1

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30kV

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实验时可根据被分

析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约?/p>

20kV

左右。扫描电镜的图像放大倍数?/p>

一定范围内?/p>

(几十倍到几十万?/p>

)

可以实现连续调整?/p>

放大倍数等于荧光屏上显示的图像横

向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比?/p>

扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜?/p>

所不同?/p>

其作用仅仅是为了提供扫描电子束.

作为使样品产生各种物理信号的激发源?/p>

扫描

电镜最常使用的是二电子信号和背散射电子信号?/p>

前者用于显示表面形貌衬度,

后者用于显

示原子序数衬度?/p>

 

 

 

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扫描电镜的基本结构可分为六大部分,电子光学系统、扫描系统?/p>

信号检测放大系统?/p>

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扫描电镜的结构原理及图像衬度观察

 

一

 

实验目的

 

 

 

 

1 

结合扫描电镜实物?/p>

介绍其基本结构和工作原理?/p>

加深对扫描电镜结构及原理的了解?/p>

 

 

 

 

2

选用合适的样品,通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像?/p>

度原理及其应用?/p>

 

 

 

 

3 

利用二次电子像对断口形貌进行观察?/p>

 

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实验原理

 

1 

 

扫描电镜基本结构和工作原?/p>

 

 

 

 

 

扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描?/p>

与样品相互作用产生各种物理信

号.

这些信号经检测器接收?/p>

放大并转换成调制信号?/p>

最后在荧光屏上显示反映样品表面?/p>

种特征的图像?/p>

扫描电镜具有景深大?/p>

图像大体感强?/p>

放大倍数范围大连续可调?/p>

分辨率高?/p>

样品室空间大且样品制备简单等特点?/p>

是进行样品表面研究的有效分析工具?/p>

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为扫?/p>

电镜结构原理方框图?/p>

 

 

 

 

 

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多?/p>

一般约?/p>

1

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析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约?/p>

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一定范围内?/p>

(几十倍到几十万?/p>

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可以实现连续调整?/p>

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向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比?/p>

扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜?/p>

所不同?/p>

其作用仅仅是为了提供扫描电子束.

作为使样品产生各种物理信号的激发源?/p>

扫描

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前者用于显示表面形貌衬度,

后者用于显

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扫描电镜的基本结构可分为六大部分,电子光学系统、扫描系统?/p>

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扫描电镜的结构原理及图像衬度观察. - 百度文库
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扫描电镜的结构原理及图像衬度观察

 

一

 

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1 

结合扫描电镜实物?/p>

介绍其基本结构和工作原理?/p>

加深对扫描电镜结构及原理的了解?/p>

 

 

 

 

2

选用合适的样品,通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像?/p>

度原理及其应用?/p>

 

 

 

 

3 

利用二次电子像对断口形貌进行观察?/p>

 

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实验原理

 

1 

 

扫描电镜基本结构和工作原?/p>

 

 

 

 

 

扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描?/p>

与样品相互作用产生各种物理信

号.

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种特征的图像?/p>

扫描电镜具有景深大?/p>

图像大体感强?/p>

放大倍数范围大连续可调?/p>

分辨率高?/p>

样品室空间大且样品制备简单等特点?/p>

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4-1

为扫?/p>

电镜结构原理方框图?/p>

 

 

 

 

 

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多?/p>

一般约?/p>

1

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实验时可根据被分

析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约?/p>

20kV

左右。扫描电镜的图像放大倍数?/p>

一定范围内?/p>

(几十倍到几十万?/p>

)

可以实现连续调整?/p>

放大倍数等于荧光屏上显示的图像横

向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比?/p>

扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜?/p>

所不同?/p>

其作用仅仅是为了提供扫描电子束.

作为使样品产生各种物理信号的激发源?/p>

扫描

电镜最常使用的是二电子信号和背散射电子信号?/p>

前者用于显示表面形貌衬度,

后者用于显

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扫描电镜结构原理方框?/p>

 

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