实验?/p>
扫描电镜的结构原理及图像衬度观察
一
实验目的
1
结合扫描电镜实物?/p>
介绍其基本结构和工作原理?/p>
加深对扫描电镜结构及原理的了解?/p>
2
选用合适的样品,通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像?/p>
度原理及其应用?/p>
3
利用二次电子像对断口形貌进行观察?/p>
?/p>
实验原理
1
扫描电镜基本结构和工作原?/p>
扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描?/p>
与样品相互作用产生各种物理信
号.
这些信号经检测器接收?/p>
放大并转换成调制信号?/p>
最后在荧光屏上显示反映样品表面?/p>
种特征的图像?/p>
扫描电镜具有景深大?/p>
图像大体感强?/p>
放大倍数范围大连续可调?/p>
分辨率高?/p>
样品室空间大且样品制备简单等特点?/p>
是进行样品表面研究的有效分析工具?/p>
?/p>
4-1
为扫?/p>
电镜结构原理方框图?/p>
扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多?/p>
一般约?/p>
1
?/p>
30kV
?/p>
实验时可根据被分
析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约?/p>
20kV
左右。扫描电镜的图像放大倍数?/p>
一定范围内?/p>
(几十倍到几十万?/p>
)
可以实现连续调整?/p>
放大倍数等于荧光屏上显示的图像横
向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比?/p>
扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜?/p>
所不同?/p>
其作用仅仅是为了提供扫描电子束.
作为使样品产生各种物理信号的激发源?/p>
扫描
电镜最常使用的是二电子信号和背散射电子信号?/p>
前者用于显示表面形貌衬度,
后者用于显
示原子序数衬度?/p>
?/p>
4-1
扫描电镜结构原理方框?/p>
扫描电镜的基本结构可分为六大部分,电子光学系统、扫描系统?/p>
信号检测放大系统?/p>
图像